[发明专利]用于制造用于太阳能电池用途的钙钛矿膜的系统和方法

摘要

提供了一种用于制造用于太阳能电池应用的钙钛矿膜的系统和方法，该系统包括：壳体，其用作真空室；基板台，其联接至壳体的顶部；第一蒸发器单元，其联接至壳体的底部并且构造为生成BX₂(金属卤化物材料)蒸汽；第二蒸发器单元，其联接至壳体并且构造为生成AX(有机材料)蒸汽；以及流动控制单元，其联接至壳体，用于控制AX蒸汽的循环。第一蒸发器单元的水平截面形状的尺寸、基板台的水平截面形状的尺寸以及两个水平截面形状之间沿水平方向的相对位置构造为最大化两个水平截面形状之间的重叠。

主权项

1.一种通过使用源材料AX和BX₂制造用于太阳能电池用途的钙钛矿膜的系统，其中，AX是有机卤化物材料，BX₂是金属卤化物材料，其中所述AX中的卤素X与所述BX₂中的卤素是相同的元素或者不同的元素，所述系统包括：壳体，所述壳体用作真空室，所述壳体具有沿着垂直方向的侧部以及具有沿着水平方向的顶部和底部；基板台，所述基板台联接至所述壳体的所述顶部并且构造为具有面向垂直向下的台表面，所述台表面用于供放置基板；第一蒸发器单元，所述第一蒸发器单元联接至所述壳体的所述底部并且构造为生成BX₂蒸汽；第二蒸发器单元，所述第二蒸发器单元联接至所述壳体并且构造为生成AX蒸汽；以及流动控制单元，所述流动控制单元联接至所述壳体，用于控制AX蒸汽在所述壳体中的循环，其中，所述第一蒸发器单元的水平截面形状的尺寸、所述基板台的水平截面形状的尺寸以及两个所述水平截面形状之间沿水平方向的相对位置被构造为使两个所述水平截面形状之间的重叠最大化，所述第一蒸发器单元、所述第二蒸发器单元和所述流动控制单元被控制使得BX₂蒸汽流量的方向从所述第一蒸发器单元指向所述基板台，并且在沉积于所述基板上的BX₂与在所述壳体内循环的AX蒸汽之间发生化学反应。