[发明专利]载置台及等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种载置台及等离子体处理装置。本发明的一实施方式的载置台具备支承部件及基座。支承部件具有：载置区域，具有加热器；及外周区域，围绕载置区域。基座具有：第1区域，在其上支承载置区域；及第2区域，围绕第1区域。第2区域中设有贯穿孔。电连接于加热器的配线穿过第2区域的贯穿孔。

主权项

1.一种载置台，具备：支承部件；基座；多个配线；及其他配线，所述支承部件用于支承被处理体，且包含：陶瓷制的主体部，具有用于载置所述被处理体的载置区域、及围绕该载置区域的外周区域；一个以上的加热器，设置于所述主体部内；一个以上的第1配线层，在所述主体部内延伸，且分别电连接于所述一个以上的加热器的供电侧；一个以上的第2配线层，在所述主体部内延伸，且电连接于所述一个以上的加热器的基准电位侧；多个接点部，在所述外周区域从所述主体部露出，且分别电连接于所述一个以上的第1配线层及所述一个以上的第2配线层；静电吸附用电极，设置在所述主体部内；第3配线层，电连接于该静电吸附用电极，且设置在所述主体部内；及其它接点部，电连接于该第3配线层，且在所述外周区域从所述主体部露出，所述基座支承所述支承部件，且具有将所述载置区域支承在其上的第1区域、及将所述外周区域支承在其上的第2区域，并且在该第2区域设有分别通往所述多个接点部的多个第1贯穿孔及通往所述其它接点部的第2贯穿孔，所述多个配线穿过所述多个第1贯穿孔而分别接合于所述多个接点部，所述其它配线穿过所述第2贯穿孔而接合于所述其它接点部，所述基座具有：导电性主部，提供所述第1区域及所述第2区域；第1绝缘部，以能够拆卸的方式安装于所述主部，并提供所述多个第1贯穿孔；及第2绝缘部，以能够拆卸的方式安装于所述主部，并提供所述第2贯穿孔，所述多个配线各自包含：具有一端及另一端的可挠性的第1引线；连结于该第1引线的一端并连结于所述多个接点部中对应的接点部的第1端子；及连结于所述第1引线的另一端的第2端子，并且划分该第1端子及该第1引线所穿过的第1贯穿孔的所述第1绝缘部的内面与该第1端子之间、以及该第1绝缘部的该内面与该第1引线之间存在空间，所述其它配线包含：具有一端及另一端的可挠性的第2引线；连结于该第2引线的一端并连结于所述其它接点部的第3端子；及连结于所述第2引线的另一端的第4端子，并且划分所述第2贯穿孔的所述第2绝缘部的内面与该第3端子之间、以及该第2绝缘部的该内面与该第2引线之间存在空间，所述载置台还具备筒状的绝缘部，以包围所述第3端子的方式存在于所述第3端子与所述第2绝缘部之间。