[发明专利]固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法

摘要

提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er₁/Er₂≧1.10(1)，其中，Er₁表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er₂表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。

主权项

1.一种固化性组合物，其特征在于，其在固化状态下满足下式(1)：Er₁/Er₂≧1.10   (1)其中，Er₁表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量，单位为GPa，和Er₂表示所述固化产物的内部折减弹性模量，单位为GPa；所述固化性组合物包含：聚合性化合物组分A和光聚合引发剂组分B，其中，所述固化状态为在200mJ/cm²的曝光量下固化的所述固化性组合物的固化产物具有3.2μm的平均膜厚度：其中，Er₁表示距离所述固化产物的表面4nm以下的深度范围内的平均折减弹性模量，其为使用纳米压头测量的、且通过Hertz方法求出的所述固化产物的平均表面折减弹性模量，单位为GPa，和Er₂表示距离所述固化产物的表面200nm的深度处的折减弹性模量，其为使用纳米压头测量的、且通过Oliver‑Pharr方法求出的所述固化产物的内部折减弹性模量，单位为GPa。