[发明专利]流化床反应器和用于制备多晶硅颗粒的方法有效
| 申请号： | 201580024472.3 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN106458608B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 西蒙·佩德龙;伯恩哈德·鲍曼;格哈德·福斯特普安特纳 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C23C16/442;C01B33/027 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英;宫传芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于生产多晶硅颗粒的流化床反应器，所述流化床反应器包括反应器容器(1)、位于所述反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15)，其中中间夹套(3)位于所述反应器管(2)的外壁与所述反应器容器(1)的内壁之间；并且包括加热装置(5)、至少一个用于引入流化气体的底部气体喷嘴(9)、至少一个用于引入反应气体的二次气体喷嘴(10)、用于供应硅晶种颗粒的供料装置(11)、用于多晶硅颗粒的排出管线(14)以及用于排放反应器废气(16)的设备，其中所述反应器管(2)的主体由至少60重量％的碳化硅组成，且包含CVD涂层，所述CVD涂层具有至少5μm的层厚度，由至少99.995重量％的SiC组成，或其中所述反应器管(2)的主体由包含至少99.99重量％的α‑Al2O3的蓝宝石玻璃组成。本发明还涉及一种用于在这种流化床反应器中生产多晶硅颗粒的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 流化床 反应器 用于 制备 多晶 颗粒 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备粒状多晶硅的流化床反应器，其包括反应器容器(1)、位于所述反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15)，其中中间夹套(3)位于所述反应器管(2)的外壁与所述反应器容器(1)的内壁之间，并且还包括加热装置(5)、至少一个用于引入流化气体的底部气体喷嘴(9)以及至少一个用于引入反应气体的二次气体喷嘴(10)、用于供应硅晶种颗粒的供料装置(11)、用于粒状多晶硅的排出管线(14)以及用于排放反应器废气(16)的设备，其中所述反应器管(2)的主要元件包含至少60重量％的碳化硅，且至少在其内侧上具有CVD涂层，所述CVD涂层具有30‑500μm的层厚度，且由至少99.995重量％的程度的碳化硅组成。
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