[发明专利]高电压MEMS,以及包括这种MEMS的便携式超声设备在审
申请号: | 201580024590.4 | 申请日: | 2015-03-13 |
公开(公告)号: | CN106456113A | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | J·J·科宁;R·沃尔特 | 申请(专利权)人: | 诺维欧扫描有限责任公司 |
主分类号: | A61B8/00 | 分类号: | A61B8/00;A61F5/48;A61B5/20;H01L41/083;H01L41/09;B06B1/06 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 宋岩 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明在改进的高电压MEMS、包括这种MEMS的便携式超声设备以及这种便携式设备对检测膀胱中液体容积的用途的领域中。便携式超声设备使用在相同方向被极化的至少两个堆叠的压电元件,并且与腔体、吸收层或四分之一波长反射层叠加。 | ||
搜索关键词: | 电压 mems 以及 包括 这种 便携式 超声 设备 | ||
【主权项】:
一种便携式超声设备,包括:至少一个超声换能器,所述换能器包括至少一个MEMS,所述MEMS包括至少一个压电元件、腔体,以及超声吸收层和超声反射层中的一个或多个,电压源,用于向换能器施加电压,用于提供电能的装置,以及检测器,用于检测反射的超声,其中MEMS包括层的堆叠,所述堆叠包括(i)在相同方向被极化的至少两个压电元件,每个压电元件包括顶部电极层,压电层,和底部电极层,其中顶部电极完全或部分地覆盖压电层,并且其中压电层完全或部分地覆盖底部电极。
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