[发明专利]标记固态材料的方法和根据该方法标记的固态材料

摘要

一种在由固态材料形成的物品的外表面上形成非光学可检测可识别标记的方法，所述方法包括以下步骤：在向由固态材料形成的物品的外表面涂敷的光致抗蚀剂的预定区域内，形成多个凹部，其中，所述多个凹部由双光子吸收光刻形成，并且其中，所述一个或多个凹部至少部分通过所述光致抗蚀剂、并且从所述光致抗蚀剂的外表面、以及朝向由固态材料形成的所述物品的所述外表面来延伸；以及应用蚀刻处理，使得所述物品的所述外表面的至少一部分被暴露并且被蚀刻，以形成多个被蚀刻部分，所述被蚀刻部分从所述物品的外表面延伸到所述物品中并且对应于所述多个凹部；其中，所述光致抗蚀剂的所述预定区域限定将施加于所述物品的外表面的可识别标记；其中，所述多个被蚀刻部分在所述物品的外表面上形成所述非光学可识别标记；并且其中，所述被蚀刻部分的最大宽度小于200nm，使得所述可识别标记在所述可见光光谱中是非光学可检测的。

主权项

1.一种在由固态材料形成的物品的外表面上形成非光学可检测的可识别标记的方法，所述方法包括以下步骤：(i)在对由固态材料形成的物品的外表面涂敷的光致抗蚀剂的预定区域内形成多个凹部，其中，通过双光子吸收光刻来形成所述多个凹部，并且其中，一个或多个凹部至少部分地通过所述光致抗蚀剂、并且从所述光致抗蚀剂的外表面、以及朝向所述物品的所述外表面来延伸；以及(ii)对所述光致抗蚀剂应用蚀刻处理，并且以致使得所述物品的所述外表面的至少一部分被暴露并且进一步被蚀刻，以便形成从所述物品的外表面延伸到所述物品中的多个被蚀刻部分，并且其中，所述多个被蚀刻部分对应于在所述光致抗蚀剂的所述预定区域内形成的所述多个凹部；其中，所述光致抗蚀剂的所述预定区域内形成的所述多个凹部限定将被施加到所述物品的外表面的非光学可检测的可识别标记；其中，延伸到所述物品中的所述多个被蚀刻部分在进行施加之后的所述物品的外表面上形成所述非光学可检测的可识别标记；并且其中，所述被蚀刻部分的最大宽度小于200nm，以致使得所述非光学可检测的可识别标记在可见光光谱中是非光学可检测的。