[发明专利]TIN障碍和清洁组合物在审
| 申请号： | 201580025719.3 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106459850A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | J·J-J·柯;T·W·于;Y-P·郑 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C11D7/26;C23F1/18;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 张双双;刘金辉 |
| 地址： | 德国路德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可用于控制TiN相对于W的蚀刻速率且从表面移除任何残余物，例如可能含有氟(F)的有机或无机残余物的新组合物，该组合物包含a)脂族或芳族磺酸；b)一种或多种抑制剂；c)非质子性溶剂；d)二醇醚；和e)水。本发明还涉及一种包含该组合物与氧化剂和任选地该氧化剂的稳定剂的组合的套组，及其用途。 | ||
| 搜索关键词： | tin 障碍 清洁 组合 | ||
【主权项】：
一种组合物，包含：a)脂族或芳族磺酸；b)一种或多种抑制剂；c)非质子性溶剂；d)二醇醚；和e)水。
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