[发明专利]光测量装置及光测量方法

摘要

光测量装置向配置有试样的积分球内输入激发光，使激发光以规定的光束截面照射至试样，并利用光检测器检测来自积分球的测量光而取得试样的强度数据。光测量装置包括存储部，其存储有修正数据；及光特性计算部，其基于试样的强度数据及修正数据，计算出试样的光特性。修正数据基于对第1光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第1修正用强度数据、以及对第2光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第2修正用强度数据而计算出。规定的光束截面被第1光吸收构件覆盖并且覆盖第2光吸收构件。

主权项

一种光测量装置，其特征在于，是对试样照射激发光并检测测量光的光测量装置，包括：积分器，其配置有所述试样；光学系统，其向所述积分器内输入所述激发光，使所述激发光以规定的光束截面照射至所述试样；光检测器，其检测自所述积分器输出的测量光，并输出1个或多个波长下的所述试样的强度数据；存储部，其存储有修正数据；及光特性计算部，其基于自所述光检测器输出的所述试样的强度数据及所述存储部中存储的所述修正数据，计算出所述试样的光特性，所述修正数据是基于第1修正用强度数据与第2修正用强度数据而计算出的修正值，所述第1修正用强度数据是在对配置于所述积分器的第1光吸收构件以所述规定的光束截面照射所述激发光时自所述积分器输出的第1测量光的检测值，所述第2修正用强度数据是在对配置于所述积分器的第2光吸收构件以所述规定的光束截面照射所述激发光时自所述积分器输出的第2测量光的检测值，所述激发光的所述规定的光束截面被所述第1光吸收构件覆盖，并且覆盖所述第2光吸收构件。