[发明专利]多晶硅棒对和制备多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201580026001.6 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN106458609B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·维特兹;斯特凡·费贝尔 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C30B29/06;C30B28/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英;宫传芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及制备多晶硅的方法，所述方法包括：沉积多晶硅，从反应器拆除至少一个多晶硅棒对，从至少一个多晶硅棒对的至少两个多晶硅棒的电极侧端除去石墨残留物，将至少两个多晶硅棒粉碎成棒块或碎块，其中在从反应器拆除至少一个多晶硅棒对之前，所述方法包括用由厚度大于150pm的塑料膜制成的塑料袋至少部分地覆盖至少一个多晶硅棒对，其中所述塑料袋在其开口处包含多个配重。本发明还涉及多晶硅棒对，其棒直径为190mm或更大，且被塑料袋覆盖，所述塑料袋由厚度大于150pm的塑料膜制成。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备多晶硅的方法，所述方法包括：a)通过化学气相沉积将多晶硅沉积到至少一个U型支撑体上，所述U型支撑体通过直接通电而被加热到使多晶硅沉积到所述支撑体上的温度，以形成至少一个U型多晶硅棒对，其中所述支撑体的每个自由端连接各自的石墨电极并因此供电；b)从反应器拆除至少一个多晶硅棒对；c)从所述至少一个多晶硅棒对的至少两个多晶硅棒的电极侧端除去石墨残留物；d)将所述至少两个多晶硅棒粉碎成棒块或碎块；其中在从反应器拆除所述至少一个多晶硅棒对之前，所述方法包括用由厚度大于150μm的塑料膜制成的塑料袋至少部分地覆盖所述至少一个多晶硅棒对，其中所述塑料袋在其开口区域包含一个或多个配重，其中所述塑料袋上的配重的总质量为所述塑料膜的总质量的20％‑80％。
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