[发明专利]反应物输送系统防冻热交换器有效
| 申请号： | 201580026714.2 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN106461357B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 科林·约翰·迪金森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F28F17/00 | 分类号： | F28F17/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文提供在前级去除系统中提供反应物气体的装置及方法。在一些实施方式中，反应物输送系统包含：水槽，该水槽具有内容积，该内容积在设置于该水槽中时容纳反应物液体；以及热交换器，该热交换器具有中央开口，该中央开口设置于该内容积中，并且经构造以在反应物液体设置于该水槽内时避免该反应物液体的顶表面冻结。 | ||
| 搜索关键词： | 反应物 输送 系统 防冻 热交换器 | ||
【主权项】：
1.一种反应物输送系统，所述反应物输送系统包括：水槽，所述水槽具有内容积，所述内容积在设置于所述水槽中时容纳反应物液体；以及热交换器，所述热交换器具有中央开口，所述中央开口设置于所述内容积中，并且经构造以在反应物液体设置于所述水槽内时避免所述反应物液体的顶表面冻结，其中所述热交换器由多个同心圆柱体形成而准许所述同心圆柱体之间反应物液体的流动，并且其中将所述多个同心圆柱体的每一者穿孔以允许反应物液体流经所述同心圆柱体。
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