[发明专利]升降销组件有效
| 申请号： | 201580026810.7 | 申请日： | 2015-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN106463323B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 邦妮·T·基亚;贾勒帕里·拉维;曼朱纳塔·科普帕;维诺德·孔达·普拉斯;振雄·马修·蔡;阿拉维德·米亚尔·卡马斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 于此提供升降销组件的实施方式。在一些实施方式中，升降销组件包含：伸长底座，由第一材料所形成，并具有形成在底座的远端中的第一特征结构，以与尖端接合并可移除地支撑尖端；及尖端，由不同于第一材料的第二材料所形成，并在尖端的第一侧及尖端的相对第二侧上具有支撑表面，其中相对第二侧包含第二特征结构，以匹配底座的第一特征结构，以可移除地将尖端保持于底座的远端上。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 组件 | ||
【主权项】：
1.一种升降销组件，包括：平台；伸长底座，从所述平台延伸，且由第一材料所形成，并具有形成在所述底座的远端中的第一特征结构，以接合尖端且可移除地支撑所述尖端；及所述尖端，由不同于所述第一材料的第二材料所形成，并具有第一侧及相对第二侧，其中所述相对第二侧包含第二特征结构，以匹配所述底座的所述第一特征结构，以可移除地将所述尖端保持于所述底座的所述远端上，其中所述第一特征结构为夹头且所述第二特征结构具有待嵌入至所述夹头并与所述夹头啮合的锥形表面，并且其中所述第一侧是圆形支撑表面。
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