[发明专利]用于蒸发器源的承载器装置有效
| 申请号： | 201580026919.0 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN106414790B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | G·乌尔温登;E·格罗斯;U·恩勒特;A·索格;A·斯特劳布;P·冯比斯马克;M·皮施;L·科诺斯;A·马里恩菲尔德 | 申请（专利权）人： | 曼兹铜铟镓硒技术公司;巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心(ZSW) |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;潘飞 |
| 地址： | 德国施瓦*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。此外，本发明涉及一种蒸发器装置，其具有所述类型的承载器装置和布置在其中的蒸发器源(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蒸发器 承载 装置 | ||
【主权项】：
1.自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成，其中，所述底部(82)具有一个通孔(86)，所述蒸发器源(10)与蒸气分配器(50)之间的流体连接部(68)可被贯穿引导穿过所述通孔。
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