[发明专利]鎓盐、光酸产生剂、感光性树脂组合物及装置的制造方法在审
| 申请号： | 201580027065.8 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106458879A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 宫泽贵士 | 申请（专利权）人： | 东洋合成工业株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/06;C09K3/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种下述式(a)所表示的鎓盐。Z‑A‑W‑Y+(R)nX－(a)(所述式(a)中，Z、A、W、Y、(R)n及X为以下含义：Z为一价有机基，其具有可以具有至少1个取代基的具备共轭π电子体系的环状结构；W为二价有机基，其具有可以具有至少1个取代基的具备共轭π电子体系的环状结构；A为直接键或包含选自由碳‑碳单键、碳‑碳双键及碳‑碳三键所组成的群中的至少1种键的二价连结基(另外，所述Z及W的任一个基的取代基也可以和所述Z及W分别所包含的至少1个原子及所述A一起形成饱和或部分饱和的环状结构)；Y为碘原子或硫原子，且当Y为碘原子时，n＝1，当Y为硫原子时，n＝2；(R)n可以相互相同，也可以不同，各个(R)n为可以具有取代基的碳数1以上的一价有机基；X表示一价阴离子)。 | ||
| 搜索关键词： | 鎓盐 产生 感光性 树脂 组合 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种鎓盐，其由下述式(a)所表示，Z‑A‑W‑Y+(R)nX－ (a)(所述式(a)中，Z、A、W、Y、(R)n及X为以下含义：Z为一价有机基，其具有可以具有至少1个取代基的具备共轭π电子体系的环状结构；W为二价有机基，其具有可以具有至少1个取代基的具备共轭π电子体系的环状结构；A为直接键或包含选自由碳‑碳单键、碳‑碳双键及碳‑碳三键所组成的群中的至少1种键的二价连结基(另外，所述Z及W的任一个基的取代基也可以和所述Z及W分别所包含的至少1个原子以及所述A一起形成饱和或部分饱和的环状结构)；Y为碘原子或硫原子，且当Y为碘原子时，n＝1，当Y为硫原子时，n＝2；(R)n可以相互相同，也可以不同，各个(R)n为可以具有取代基的碳数1以上的一价有机基；X表示一价阴离子)。
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