[发明专利]光源装置、放电灯及其制造方法、以及曝光装置有效
| 申请号： | 201580027187.7 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106415396B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫;菊池孝幸;白数广 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J5/50;H01J61/52;H01J61/86 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 电灯 及其 制造 方法 以及 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种光源装置，用于使放电灯发光，该放电灯具有在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件、和相对于所述发光部分别设在所述玻璃部件的所述第1电极侧及所述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，所述光源装置的特征在于，具备：保管部，其保管所述放电灯；支承部，其能够装拆地支承所述放电灯的所述第2灯座部件；连结部，其将传递电力的部件能够装拆地连结到支承于所述支承部的所述放电灯的所述第1灯座部件；和搬送部，其在基于所述支承部对所述第2灯座部件的支承及基于所述连结部实现的所述传递电力的部件相对于所述第1灯座部件的连结被解除的状态下，保持着所述第1灯座部件地在所述保管部与所述支承部之间搬送所述放电灯。
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