[发明专利]涂布方法

摘要

提供一种涂布装置(1)以及涂布方法，并且提供制造显示器用部件的方法，其中，该涂布装置(1)以及涂布方法除了在涂布开始区域进行来自喷嘴(5)的涂布液(2)的定流量排出之外，还能够瞬时对液滴形成所需要的量的涂布液(2)进行剩余排出。具体来说，具有排出涂布液(2)的喷嘴(5)、使喷嘴(5)与被涂布部件(W)相对地移动的移动单元(8)、向喷嘴(5)提供涂布液(2)的提供单元(10)、以及进行喷嘴(5)内的涂布液(2)的抽吸的减压单元(40)，上述提供单元(10)具有：第1提供单元(61)，其包含以恒定的流量向喷嘴(5)送出涂布液(2)的送液器(12)；以及第2提供单元(62)，其具有储罐(13)以及加压单元(14)，该储罐(13)储存涂布液(2)并且经由流路(11)与喷嘴(5)连接，该加压单元(14)对储罐(13)的涂布液(2)进行加压并向喷嘴(5)送出涂布液(2)。

主权项

1.一种涂布方法，其使用涂布装置对被涂布部件涂布涂布液，该涂布装置具有对被涂布部件排出涂布液的喷嘴、使所述喷嘴与所述被涂布部件相对地移动的移动单元、向所述喷嘴提供涂布液的提供单元、以及用于进行所述喷嘴内的所述涂布液的抽吸的减压单元，所述提供单元具有：/n第1提供单元，其包含以恒定的流量向所述喷嘴送出涂布液的送液器；以及/n第2提供单元，其具有储罐以及加压单元，该储罐储存涂布液并且经由流路与所述喷嘴连接，该加压单元用于对所述储罐的涂布液进行加压而向所述喷嘴送出该涂布液，/n所述减压单元具有：/n打开用第1减压用阀，该打开用第1减压用阀为了开始所述喷嘴内的所述涂布液的抽吸而从关闭状态成为打开状态；以及/n关闭用第2减压用阀，该关闭用第2减压用阀与所述第1减压用阀串联配置，且能够与所述第1减压用阀独立进行动作，为了停止所述涂布液的抽吸而从打开状态成为关闭状态，/n其特征在于，该涂布方法包括：/n涂布开始工序，与所述第1提供单元开始以恒定的流量向所述喷嘴提供涂布液相应地，由所述第2提供单元开始向所述喷嘴提供涂布液，并在规定时间后停止由该第2提供单元进行的向该喷嘴的涂布液的提供，开始涂布；/n涂布中间工序，持续由所述第1提供单元以恒定的流量进行的涂布液的提供；以及/n涂布结束工序，停止由所述第1提供单元进行的涂布液的提供，并且开始由所述减压单元进行的所述喷嘴内的涂布液的抽吸，并在规定时间后停止该抽吸而结束对所述被涂布部件的涂布。/n