[发明专利]利用可移位波导结构进行光谱测定的装置、方法和系统

摘要

用于单片光子集成电路（PIC）以提供光谱测定功能的技术和机制。在实施例中，PIC包括光子器件、第一波导和第二波导，其中第一波导和第二波导中的一个包括相对于PIC的衬底自由移动的释放部分。在评估被测材料的计量周期期间，控制逻辑操作致动器以相对于光子器件连续地配置释放部分的多个位置。在另一个实施例中，在计量周期期间，来自第一波导的光被光子器件的光栅不同地衍射，其中将光的部分引导到第二波导中。对于释放部分的不同位置，可能连续地检测衍射到第二波导中的光的不同波长，以确定在波长范围上的光谱测定测量。

主权项

一种光谱仪装置，包括：布置在衬底上的光子器件，所述光子器件包括光栅；布置在所述衬底上的第一波导；布置在所述衬底上的第二波导，其中所述第一波导和所述第二波导中的一个包括释放部分，所述释放部分是自由的以相对于所述衬底移动；耦合到所述第二波导的光电检测器电路；控制逻辑，用于配置所述释放部分相对于所述光子器件的多个位置，其中对于所述多个位置中的每一个，当配置所述位置时：所述第一波导将来自被测材料的相应光交换到所述光子器件；所述光栅将相应光的一部分衍射到所述第二波导中；以及所述光电检测器电路进行所述被测材料的相应光谱测定测量，包括所述光电检测器电路生成指示被引导到所述第二波导中的相应光的衍射部分的水平的信号。