[发明专利]具有集成应变感测元件的微型拾取阵列枢转底座有效
| 申请号： | 201580028467.X | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN106461367B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | S·P·巴瑟斯特;P·A·帕克斯;N·A·莱特 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;李峥宇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于使转移头部组件与基板对准的系统和方法。在一个实施方案中，枢转底座用于在闭环运动控制系统中生成反馈信号。在一个实施方案中，该枢转底座包括多个弹簧臂，其中每个弹簧臂包括沿弹簧臂的轴向长度的折返部，使得弹簧臂的一对第一长度和第二长度与折返部紧邻并且彼此平行。第一应变感测元件被定位在第一长度处，并且第二应变感测元件被定位在第二长度处。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 应变 元件 微型 拾取 阵列 底座 | ||
【主权项】：
一种枢转底座，包括：枢转平台；基座；多个弹簧臂，每个弹簧臂在对应的内侧根部处被固定到所述枢转平台，并且在对应的外侧根部处被固定到所述基座；其中每个弹簧臂包括：沿所述弹簧臂的轴向长度的折返部，使得所述弹簧臂的与所述折返部紧邻的一对第一长度和第二长度彼此平行；所述第一长度处的第一应变感测元件；和所述第二长度处的第二应变感测元件。
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