[发明专利]载具的临时保管装置和临时保管方法有效
申请号: | 201580028530.X | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN106463441B | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 高井要 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;田军锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 设置滑动缓冲区以便增加能临时保管载具的数量且不需要在区间台车设置载具的横向输送机构,且滑动缓冲区不妨碍临时保管装置的搬入及处理装置的维护。临时保管装置在桥式行驶车与处理装置的前面的装载区之间临时保管载具。临时保管装置使区间台车沿在装载区的正上方通过且设于桥式行驶车的行驶路径的下方的行驶轨道行驶,具备滑动缓冲区,其由自由载置载具的仓室和使上述仓室在上述行驶轨道的正下方的前进位置与行驶轨道的侧方的后退位置之间滑动的导向机构构成。导向机构在从行驶轨道向侧方突出的动作位置与向侧方的突出长度短且允许由桥式行驶车在与装载区之间进行载具的移载的退避位置之间自由移动,行驶轨道沿处理装置的前面延伸至从装载区的正上部远离的区间台车的待机位置。 | ||
搜索关键词: | 临时 保管 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种临时保管装置,是在桥式行驶车与处理装置的前面的装载区之间对载具进行临时保管的临时保管装置,其中,具备:区间台车,其具备使载具升降的提升机;上述区间台车的行驶轨道,其在装载区的正上部通过,并且设于桥式行驶车的行驶路径的下方;以及滑动缓冲区,其由自由载置载具的仓室和导向机构构成,该导向机构在上述行驶轨道的正下方的前进位置与行驶轨道的侧方的后退位置之间支承上述仓室并使上述仓室滑动,上述导向机构构成为能够在动作位置与退避位置之间自由移动,其中,上述动作位置是上述导向机构从上述行驶轨道向侧方突出的位置,上述退避位置是与上述动作位置相比向侧方的突出长度较短且允许由桥式行驶车在与装载区之间进行载具的移载的位置,上述行驶轨道沿处理装置的前面延伸至从装载区的正上部远离的待机位置,上述区间台车在上述待机位置待机。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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