[发明专利]热流分布测定装置

摘要

热流分布测定装置具备传感器模块(2)，该传感器模块(2)具有层叠有多个由热塑性树脂构成的绝缘层(100、110、120)且具有一面(2a)与其相反一侧的另一面(2b)的一个多层基板以及形成于多层基板的内部的多个热流传感器部(10)。多个热流传感器部(10)分别由热电转换元件构成，且热电独立。运算部(3)基于由多个热流传感器部(10)分别产生的电动势运算热流分布。多个热电转换元件形成于一个多层基板的内部，因此能够在制造多层基板的同一制造工序中制造。因此，能够将热电转换元件的性能个体差异抑制为较小，从而能够高精度地测定热流分布。

主权项

1.一种热流分布测定装置，其特征在于，具备传感器模块(2、200、201、202)，该传感器模块具有一个多层基板以及形成于所述多层基板的内部的多个热流传感器部(10)，所述一个多层基板层叠有多个由热塑性树脂构成的绝缘层(100、110、120)，并且具有一面(2a、200a)和其相反一侧的另一面(2b、200b)，所述多个热流传感器部分别由电气独立的热电转换元件构成，在以使所述一面与热流分布的计测对象物(31)对置的方式配置所述传感器模块时，通过各个所述热电转换元件，产生与在垂直于所述一面的方向上通过所述多层基板的内部的热流对应的电气输出，作为多个绝缘层，所述多层基板具有绝缘基材(100)、位于绝缘基材(100)的一面侧的第一绝缘层(110)以及位于另一面侧的第一表面保护部件(120)，在绝缘基材(100)形成有多个贯通孔(101、102)，在所述多个贯通孔中埋入由不同的导电体构成的第一、第二导电体(130、140)，构成各个热流传感器部的热电转换元件通过将所述第一、第二导电体交替地电串联连接而成，构成多个热流传感器部的每一个的第一、第二导电体形成于相同的绝缘基材，所述多层基板进一步在所述第一绝缘层(110)侧具有第二表面保护部件(115)和与该第二表面保护部件同层的多个布线图案(116)，在各个热流传感器中，布线图案经由形成于第一绝缘层(110)的层间连接部件(117)与被电串联连接的第一、第二导电体的端部电连接，并且延伸至传感器模块的缘部，所述热流分布测定装置进一步具备运算部(3)，该运算部基于由所述多个热流传感器部分别产生的所述输出运算热流分布，在与所述一面平行的方向上，所述多个热流传感器部沿一个方向呈一列或多列地排列配置，所述热流分布测定装置具备移动装置(24)，该移动装置使所述传感器模块向相对于所述一个方向垂直的方向移动，在使所述传感器模块移动时，所述运算部基于由所述多个热流传感器部分别产生的所述输出以及产生所述输出时的所述传感器模块的位置，运算热流分布。