[发明专利]质量流量计以及速度计

摘要

本发明提供质量流量计以及速度计。质量流量计具备在加热器部(13)的两侧分别形成有第1、第2传感器部(11、12)的流量传感器(10)。流量传感器(10)具备由热塑性树脂构成且多个层叠的绝缘层(100、110、120)、以及相对于这些绝缘层形成且相互连接的第1导电体、第2导电体(130、140)，由将多个绝缘层(100、110、120)一边加热一边加压而一体化的多层基板构成。当具有从加热器部(13)放出的热的流体沿着流量传感器(10)的一面移动时，第1、第2传感器部(11、12)产生与在各自的区域内的一面与另一面之间产生的温度差相应的大小的电动势。流量传感器(10)为将多个绝缘层一边加热一边加压而一体化从而制造的构造，且为不存在隔膜正下方的空间那样的大的空间的构造，因此与具有隔膜构造的传感器相比难以破损。

主权项

一种质量流量计，其中，所述质量流量计具备：传感器(10、20)，具有一面(10a)和与其相反侧的另一面(10b)，在内部形成有热电转换元件；以及热源体(13、14、240)，相对于存在于所述一面侧的流体放出温热与冷热中的一方的热，所述传感器具备由热塑性树脂构成的多个层叠的绝缘层(100、110、120、210、220)、以及相对于所述绝缘层形成且由不同的导电体构成，并且相互连接的第1导电体、第2导电体(130、140、250、260)，所述传感器由将多个所述绝缘层一边加热一边加压而一体化的多层基板构成，所述热电转换元件由相互连接的所述第1导电体、所述第2导电体构成，并且，当具有从所述热源体放出的热的所述流体沿着所述一面移动时，所述热电转换元件产生与在位于所述一面的第1区域和所述传感器中的与所述第1区域不同的位置的第2区域之间产生的温度差相应的大小的电输出，所述质量流量计还具备运算部(2)，该运算部(2)基于在所述热电转换元件产生的所述输出、以及所述输出与所述流体的质量流量之间的关系，对所述流体的质量流量进行运算。