[发明专利]压印设备和制造物品的方法

摘要

本发明提供执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在衬底上形成图案，所述设备包括配置为测量模具和衬底的相对位置的测量单元、配置为发射用于固化压印材料的光的光源单元、配置为在衬底上扫描来自光源单元的光的扫描单元以及配置为控制压印处理的控制单元，其中控制单元通过在基于测量单元的测量结果部分地使模具和衬底彼此对齐的同时使得扫描单元扫描光来执行压印处理。

主权项

1.一种执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在所述衬底上形成图案，所述压印设备包括：测量单元，所述测量单元配置为测量所述模具和所述衬底的相对位置；光源单元，所述光源单元配置为发射用于固化所述压印材料的光；扫描单元，所述扫描单元配置为在所述衬底上扫描来自所述光源单元的光；以及控制单元，所述控制单元配置为控制所述压印处理；其中所述控制单元通过在基于所述测量单元的测量结果部分地使所述模具和所述衬底彼此对齐的同时使得所述扫描单元扫描光来执行所述压印处理。