[发明专利]用于真空腔的封闭装置有效
| 申请号： | 201580030603.9 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN106461120B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | U·奥尔登多夫;C·克莱森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K3/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)一个开口(14)的护板(16)；‑‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑‑至少一个与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑‑其中所述磁体装置(30)可依据由所述间距测量装置(40)测量到的、护板(16)与封闭盖(18)之间的间距(41)作调节。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 封闭 装置 闸门 | ||
【主权项】：
1.用于真空腔(12)的封闭装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)的一个开口(14)的护板(16)；‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的至少一个磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑其中所述磁体装置(30)可依据护板(16)与封闭盖(18)之间的由所述间距测量装置(40)测量到的间距(41)而被调节。
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