[发明专利]微机械层组件在审
申请号: | 201580030617.0 | 申请日: | 2015-05-29 |
公开(公告)号: | CN106458576A | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | R·施特劳布;S·平特;D·哈贝雷尔;J·巴德尔;S·安布鲁斯特;R·豪斯纳 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | B81C3/00 | 分类号: | B81C3/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 郭毅 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种微机械层组件(100),其具有:‑至少两个彼此无关地构造的机械的活性的功能层(10、20),所述功能层(10、20)垂直相叠地布置并且在功能上彼此耦合。 | ||
搜索关键词: | 微机 组件 | ||
【主权项】:
一种微机械层组件(100),其具有:‑至少两个彼此无关地结构化的、机械活性的功能层(10,20),所述功能层垂直相叠地布置并且在功能上彼此耦合。
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