[发明专利]样品自动制作装置

摘要

本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。

主权项

一种样品自动制作装置，从样品中自动制作样品片，其特征在于，具备：带电粒子束照射光学系统，照射带电粒子束；样品工作台，载置并移动所述样品；样品片移设单元，保持并传送从所述样品中分离以及取下的所述样品片；样品片保持件固定台，保持移设所述样品片的样品片保持件；气体供给部，通过所述带电粒子束照射形成沉积膜的气体；以及计算机，至少基于保持在所述样品片移设单元的所述样品片的预先获取的所述带电粒子束的图像来控制所述带电粒子束照射光学系统、所述样品片移设单元以及所述气体供给部，以使所述样品片移设到所述样品片保持件。