[发明专利]生产有机-无机层合物的方法有效
| 申请号： | 201580030828.4 | 申请日： | 2015-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN106460171B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | M·阿尔夫;F·艾克迈尔;S·克洛茨 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫涂料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 王丹丹;刘金辉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及通过原子层沉积生产有机‑无机层合物的方法的领域。具体而言，本发明涉及生产层合物的方法，其包括相对于沿着相对移动轨道排列的至少两个独立孔口移动基底，其中经由至少一个孔口朝向基底的表面传送呈气态的有机化合物且经由至少一个其它孔口朝向基底的表面传送呈气态的含(半)金属化合物，并且其中孔口安装在转鼓上。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 有机 无机 层合物 方法 | ||
【主权项】：
生产层合物的方法，其包括相对于沿着相对移动轨道排列的至少两个独立孔口移动基底，其中经由至少一个孔口朝向基底的表面传送呈气态的有机化合物且经由至少一个其它孔口朝向基底的表面传送呈气态的含(半)金属化合物，并且其中孔口安装在转鼓上。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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