[发明专利]液体前体组合物、其制备方法和使用该组合物形成层的方法有效
| 申请号： | 201580031286.2 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN106460169B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 韩元锡;高元勇 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C251/08 | 分类号： | C07C251/08;C07F15/00;C23C16/06;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了液体前体组合物、制备液体前体组合物的方法、和例如在气相沉积工艺(例如CVD和ALD)中使用该液体前体组合物形成层的方法。在一些实施方式中，液体前体组合物包含式M(DAD)2的金属化合物，其中M为Co或Ni，且DAD是二氮杂二烯配体。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 组合 制备 方法 使用 形成层 | ||
【主权项】：
1.一种液体前体组合物，包括：由以下化学式1表示的金属化合物：<化学式1>M(DAD)2；其中，在所述化学式1中，M表示Co或Ni，以及DAD表示由R1NC(R3)C(R4)NR2表示的二氮杂二烯配体化合物，其中，R1至R4中的每一者独立地包括H或者直链或支链的C1‑5烷基；以及其中，所述金属化合物为所述液体前体组合物的90％以上。
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