[发明专利]具有简化的光学器件、尤其是具有可变的光瞳位置的光扫描显微镜有效
| 申请号： | 201580031361.5 | 申请日： | 2015-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN106461926B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | M.瓦尔德;B.贝姆;D.施韦特;T.安哈特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司股份公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇;孟婧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光扫描显微镜通常包括用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面(PE‘)的扫描光学器件(35)和共轭的光瞳平面中的能够可变调节的光束偏转单元(30)，其中，在显微镜物镜与扫描光学器件之间具有中间图像(Zb1)并且光束在共轭的光瞳平面中准直。这些扫描光学器件是耗费且并不光学高效的，因为它们必须补偿不同的成像误差，如场曲和横向色差。此外，由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小，可供偏转单元使用的结构空间较小。本发明应能够使用更简单的扫描光学器件并且提供更大的结构空间。这通过以下方式实现，即扫描光学器件通过光束偏转单元将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像中，其中，第二中间图像在空间上是弯曲的。偏转单元不再布置在光路的准直区段中，而是布置在光路的会聚区段中。扫描光学器件的光学性能和质量只需要与作为传统扫描物镜的目镜一致。非线性显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 简化 光学 器件 尤其是 可变 位置 扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
一种光扫描显微镜(10)，其具有光学系统，该光学系统定义照明光路并且包括以下构件：‑提供空间受限的光分布的光源(22、23、24、25、26)，‑具有光瞳平面(PE)和焦点的显微镜物镜(21)，‑用于产生与显微镜物镜(21)的光瞳平面(PE)共轭的光瞳平面(PE‘)的扫描光学器件(35)和‑能够可变调节的光束偏转单元(30、30A)，其中，照明光路依次地成像光分布的至少一个点和焦点的至少一个相应点，其中，光束偏转单元(30、30A)布置在共轭的光瞳平面(PE‘)中并且在显微镜物镜(21)与扫描光学器件(35)之间光学地具有中间图像(Zb1)，其特征在于，所述扫描光学器件(35)通过光束偏转单元(30、30A)将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像(Zb1)中，其中，第二中间图像(Zb2)在空间上是弯曲的。
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