[发明专利]氧化物烧结体、其制造方法及溅射靶有效
| 申请号： | 201580033197.1 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106458763B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 尾身健治;伊藤谦一;内海健太郎 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的在于，提供一种即使在高功率成膜时异常放电现象也少、没有靶裂纹的用于溅射靶的氧化物烧结体。一种氧化物烧结体，其具有锌、铝、钛及氧作为构成元素，其特征在于，在将锌、铝、钛的含量分别设为Zn、Al、Ti时，构成该烧结体的元素的原子比为Al/(Zn+Al+Ti)＝0.035～0.050Ti/(Zn+Al+Ti)＝0.05～0.20，该烧结体中以Zn |
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| 搜索关键词： | 氧化物 烧结 制造 方法 溅射 | ||
【主权项】：
一种氧化物烧结体，其具有锌、铝、钛及氧作为构成元素，其中，在将锌、铝、钛的含量分别设为Zn、Al、Ti时，构成该烧结体的元素的原子比为：Al/(Zn+Al+Ti)＝0.035～0.050Ti/(Zn+Al+Ti)＝0.05～0.20，该烧结体中，以Zn2TiO4结晶相为母相的晶粒的平均粒径为5μm以下。
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