[发明专利]电镀用夹具有效
| 申请号： | 201580033875.4 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106471162B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 秋野高史;荒井启;山根茂树;中岛航;中山直树 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D7/12;C25D17/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供电镀用夹具，能够容易地进行晶片的取放并且电镀液难以残留在内部。本发明所涉及的电镀用夹具(10)具备：保持基座(12)，具有保持基座主体(121)和多个卡止部(122)，所述保持基座主体(121)与作为被电镀基材的晶片(7)的一方的面抵接，多个所述卡止部(122)与保持基座主体(121)独立，能够相对于晶片(7)的面平行地移动；以及覆盖部件(13)，具有覆盖部件主体(131)和多个被卡止部(132)，所述覆盖部件主体(131)与晶片(7)的另一方的面的外缘抵接，多个所述被卡止部(132)从覆盖部件主体(131)朝向外侧突出。使多个卡止部(122)移动来卡止多个被卡止部(132)，将晶片(7)夹在保持基座(12)与覆盖部件(13)之间进行保持。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种电镀用夹具，其特征在于，所述电镀用夹具具备：保持基座，该保持基座具有保持基座主体和多个卡止部，所述保持基座主体与作为被电镀基材的晶片的一方的面抵接，多个所述卡止部与该保持基座主体独立，能够相对于所述晶片的面平行地移动；以及覆盖部件，该覆盖部件具有覆盖部件主体和多个被卡止部，所述覆盖部件主体与所述晶片的另一方的面的外缘抵接，多个所述被卡止部从该覆盖部件主体朝向外侧突出，使多个所述卡止部移动来卡止多个所述被卡止部，将所述晶片夹在所述保持基座与所述覆盖部件之间进行保持。
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