[发明专利]X射线吸收测量系统

摘要

本公开提供一种用于x射线吸收精细结构(XAFS)测量的系统，其具有大于现有紧凑系统若干数量级的x射线通量和通量密度。其适用于x射线吸收近边光谱(XANES)或者延伸式x射线精细吸收结构(EXFAS)光谱的实验室或现场应用。通过使用x射线靶的设计实现了更高的亮度，x射线靶包括多个对准的x射线产生材料的微结构，这些微结构被制成与具有高热导率的基板成密切热接触。这允许利用更高电子密度和/或更高能量的电子进行轰击，导致更大的x射线亮度和高通量。高亮度x射线源耦合到用于使x射线准直的x射线反射光学系统和单色器，单色器选择适当暴露能量。使用高通量单色x射线的样品的吸收光谱可以使用标准检测技术而得到。

主权项

1.一种x射线吸收测量系统，包括：x射线源，该射线源包括：至少一个电子束发射器；以及至少一个阳极靶，该阳极靶包括：基板，其包括第一选定材料；以及多个离散微结构，其包括根据其x射线产生性质选择的第二材料；其中所述多个离散微结构中每一个与所述基板成热接触，以及其中所述离散微结构中至少一个具有小于20微米的至少一个尺寸；光具组，其用来收集由所述至少一个阳极靶生成并且沿着预定轴线在发散角内传播的x射线并且产生具有预定束性质的x射线束；X射线单色器，其可控地从所述X射线束选择具有预定能量和带宽地X射线；支架，其用来保持待研究的物体，所述支架定位成使得所选择的x射线入射于所述物体上；以及检测器，其用来测量通过所述物体透射的x射线。