[发明专利]电容压差传感器及其生产方法

摘要

描述了一种简单构建且能低成本生产的压差传感器，其包括第一和第二配对电极(1、3)、布置在两个配对电极(1、3)之间的能导电的盘(5)、第一绝缘层(7)、第二绝缘层(11)、设置在第一配对电极(1)中的凹部(13)以及设置在第二配对电极(3)中的凹部(13)，通过第一绝缘层，盘(5)的外边缘与第一配对电极(1)的外边缘连接以形成第一压力腔(9)，通过第二绝缘层，盘(5)的外边缘与第二配对电极(3)的外边缘连接以形成第二压力腔(9)，通过设置在第一配对电极中的凹部，第一压力腔(9)可以加载以第一压力(p1)，通过设置在第二配对电极中的凹部，第二压力腔(9)可以加载以第二压力(p2)，该压差传感器的特征在于，盘(5)通过沟槽(17)划分为充当电极的内区域(19)和通过沟槽(17)与内区域电绝缘的外区域(21)，内区域(19)包括布置在两个压力腔(9)之间的测量膜片(15)和环绕测量膜片(15)的、在绝缘层(7、11)的内边缘(25)之间夹紧的边缘区域(23)，并且内区域(19)与其中每个配对电极(1、3)分别形成电容器，该电容器具有依赖于作用到测量膜片(15)上的压差(Δρ)的电容量(C1、C3)。

主权项

压差传感器，所述压差传感器包括：‑第一配对电极和第二配对电极(1、3)，‑布置在两个配对电极(1、3)之间的能导电的盘(5)，‑第一进行绝缘的层(7)，通过所述第一进行绝缘的层，所述盘(5)的外边缘与所述第一配对电极(1)的外边缘连接以形成第一压力腔(9)，‑第二进行绝缘的层(11)，通过所述第二进行绝缘的层，所述盘(5)的外边缘与所述第二配对电极(3)的外边缘连接以形成第二压力腔(9)，‑设置在所述第一配对电极(1)中的凹部(13)，通过所述设置在所述第一配对电极中的凹部，所述第一压力腔(9)能加载以第一压力(p1)，以及‑设置在所述第二配对电极(3)中的凹部(13)，通过所述设置在所述第二配对电极中的凹部，所述第二压力腔(9)能加载以第二压力(p2)，其特征在于，‑所述盘(5)通过沟槽(17)划分为充当电极的内区域(19)和通过所述沟槽(17)与所述内区域电绝缘的外区域(21)，‑所述内区域(19)包括布置在两个压力腔(9)之间的测量膜片(15)和包围所述测量膜片(15)的、在两个进行绝缘的层(7、11)的内边缘(25)之间夹紧的边缘区域(23)，并且‑所述内区域(19)与其中每个配对电极(1、3)分别形成电容器，所述电容器具有依赖于作用到所述测量膜片(15)上的在所述第一压力与所述第二压力(p1、p2)之间的压差(Δp)的电容量(C1、C3)。