[发明专利]光阑及目标的旋转边界有效
| 申请号： | 201580034258.6 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106471613B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | T·格林茨威格;A·斯维泽尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供从目标衍射信号减少或去除边缘衍射的散射测量计量系统、目标及方法。可将场光阑及/或目标的边界设计成相对于测量方向倾斜，从而致使边缘衍射斜向地传播且因此减少或去除其对所述所测量目标衍射信号的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光阑 目标 旋转 边界 | ||
【主权项】：
一种散射测量计量系统，其经配置以测量来自具有相应至少一个测量方向的至少一个目标的衍射信号，所述散射测量计量系统具有至少一个场光阑，所述至少一个场光阑具有相对于所述至少一个测量方向倾斜的边缘。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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