[发明专利]提高应力的棱镜耦合测量中的对比度的方法

摘要

一种用于改善波导模谱的棱镜耦合测量中的对比度的方法与装置，其中，所测量的波导样品具有迅速减小的折射率的表面区域，用标准化斜率>0.0004来表征。不透明的光阻挡元件在棱镜的输入侧、输出侧或者两侧上被放置在光束的与棱镜和所测样品之间的接触平面最靠近的那部分中。光阻挡元件阻止来自光源的光沿着光路到达棱镜‑样品耦合界面的长度的一部分、阻止从前述长度的一部分反射的光到达检测器、或当使用输入光阻挡元件以及输出光阻挡元件时阻止两者。

主权项

1.一种测量波导模谱的方法，所述方法包括：在棱镜的耦合表面与波导的表面之间形成耦合界面，所述波导具有有着标准化斜率的减小的折射率的表面区域，其中n＝n(z)是所述波导的折射率分布，作为从波导表面进入波导的距离z的函数，且λ是来自光源的光束的测量波长，所述表面区域从表面延伸到所述波导样品中，且所述棱镜具有输入表面与输出表面；将不透明的光阻挡元件设置在所述输入表面与输出表面中的至少一个上并在从光源发出的光束的路径的一部分中，所述部分最靠近所述耦合表面与所述波导样品之间的接触平面；下列两项中的至少一项：用所述不透明的光阻挡元件来阻挡光束的至少一部分，其中，阻止所述光束的所述部分沿着所述光束的所述路径到达所述耦合表面的一部分；以及用所述不透明的光阻挡元件阻挡从所述耦合界面反射的光的第一部分，其中，阻止所述第一部分到达检测器；允许从所述耦合界面反射的光的第二部分到达所述检测器；以及用所述检测器在对应于最低阶模式的位置处检测所述第二部分，并且从其反射第二部分的耦合界面的长度的那部分小于或等于最低阶模式的最大可能有效耦合长度的7倍或7mm，两者中取较小值。