[发明专利]电子能量损失光谱仪有效
| 申请号： | 201580034881.1 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN106804114B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·约瑟夫·古本斯;科林·特雷弗;雷伊·达德利·特韦斯顿;梅勒妮·巴费尔斯 | 申请（专利权）人： | 加坦公司 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 张竞 |
| 地址： | 美国宾夕法尼*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 能量 损失 光谱仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于透射电子显微镜的电子能量损失光谱仪，包括：弯转磁铁，电隔离漂移管，具有入口端和出口端，并维持漂移管电位，靠近所述弯转磁铁，设置在所述电隔离漂移管一端或两端的静电透镜，根据所述漂移管电位调节所述静电透镜，从而在所述漂移管的一端或两端形成恒定净焦距，多个光学器件，用于在光谱仪中产生电子能量损失光谱的中间焦点，并放大投射到检测器上的能量损失光谱，以减少电子光学像差。
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