[发明专利]溅镀靶有效
| 申请号： | 201580034987.1 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN106471151B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 彼得·波尔奇克;扎比内·沃利;西格弗里德·克拉斯尼策尔;于尔格·哈格曼 | 申请（专利权）人： | 攀时复合材料有限公司;欧瑞康表面解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;张杰 |
| 地址： | 德国滨湖*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶，特别是一种溅镀靶，其包含由脆性材料构成的靶板和平面地结合至该靶板的背板。该靶板具有自该靶板的前侧延伸至后侧且将该靶板划分成互相邻接的片段的微裂缝。本发明还涉及一种用于此靶的生产的方法。本发明的靶特别适合于非常高功率密度的使用。本发明还涉及一种真空涂布方法，其中将至少一个本发明的靶用作溅镀靶，并且因此可在溅镀期间在靶上使用非常高功率密度。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀靶 | ||
【主权项】：
1.一种靶，所述靶包含由脆性材料构成的靶板和平面地结合至所述靶板的背板，其中所述靶板具有面向所述背板的接触面，并且所述背板具有面向所述靶板的接触面，结合焊料存在于所述靶板的接触面与所述背板的接触面之间，其特征在于，所述靶板具有自所述靶板的前侧延伸至后侧且将所述靶板划分成互相邻接的片段的微裂缝，其中，所述靶板的热膨胀系数高于所述背板的热膨胀系数，所述结合焊料具有大于400℃的熔点。
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