[发明专利]多波长共焦测量装置

摘要

[技术问题]提供一种能够使用诸如白光等多波长光高精度地测量测量对象的诸如厚度、距离、位移或颜色等特征值的多波长光电测量装置、共焦测量装置、干涉测量装置和颜色测量装置。[技术方案]装置设置有：激光光源；光源光学部件，其用于会聚来自激光光源的光；荧光体，其由光源光学部件所会聚的光激发；光纤单元，其包括一个或多个光纤，荧光体设置在光纤单元的一侧端部上，光纤单元构造为在所述第一端部接收荧光体所发射的光，并且朝向另一端部传输所接收到的光；头部光学部件，其朝向测量对象会聚从光纤单元的另一端部发射的光；光接收元件，其根据波长选择性地接收来自测量对象的光，并且将所接收到的光光电转换为与光接收量对应的信号；以及测量控制单元，其基于表示与来自光接收元件的波长对应的光接收量的信号测量测量对象的特征值。

主权项

1.一种多波长共焦测量装置，包括：激光光源，其构造为发射激光；荧光体，其与所述激光光源光耦合，并构造为由所述激光激发，以发射多波长光；光源光学聚光器，其布置在所述激光的光路上，并构造为朝向所述荧光体会聚所述激光；光纤单元，其限定共同光路、经由分光器与所述共同光路耦合的第一光路以及经由所述分光器与所述共同光路耦合的第二光路，所述光纤单元具有与所述荧光体光耦合的所述第一光路的第一端部、所述共同光路的第二端部以及所述第二光路的第三端部，所述光纤单元构造为从所述第一端部接收所述荧光体所发射的所述多波长光，将所述多波长光从所述第一端部经由所述第一光路和所述共同光路引导至所述第二端部，并且将测量光经由所述共同光路和所述第二光路朝向所述第三端部引导；头部光学聚光器，其构造为朝向测量对象会聚从所述光纤单元的所述第二端部发射的所述多波长光；光学头，其具有第一透镜，并构造为根据穿过所述第一透镜的每个所述多波长光的所述波长，将来自布置在共焦位置处的所述第二端部的所述多波长光朝向测量对象发射至沿着光轴线的相应位置，并将来自所述测量对象朝向所述第二端部的反射光会聚作为所述测量光；光接收元件，其根据波长来选择性地接收从所述测量对象穿过所述第二端部、所述共同光路、所述第二光路和所述第三端部的所述测量光，并且将所述测量光光电转换为与光接收量对应的信号；以及测量控制器，其基于表示与来自所述光接收元件的波长对应的所述光接收量的信号测量所述测量对象的厚度或位移。