[发明专利]高生产量加热的离子注入系统和方法

摘要

本发明公开了一种离子注入系统，所述离子注入系统具有连接到第一和第二双负载锁定组件(136)的离子注入设备，第一和第二双负载锁定组件每一个都具有被共用壁(146)分离的各自的第一室(138)和第二室(140)。每一个第一室都具有构造成将工件加热至第一温度的预热设备。每一个第二室都具有构造成将工件冷却至第二温度的后冷却设备。热卡盘将工件保留在处理室中以用于离子注入，并且热卡盘被构造为将工件加热到第三温度。泵和通风口与第一室和第二室选择性地流体连通。控制器被构造为在大气环境中通过预热设备将工件加热到第一温度，通过热卡盘将工件加热到第二温度，通过离子注入设备将离子注入工件中，并通过预热设备、后冷却设备、泵、通风口和热卡盘的控制在大气环境与真空环境之间传输工件。

主权项

一种离子注入系统，包括：离子注入设备，所述离子注入设备被构造成朝向处理室引导离子束，其中所述处理室在真空压力下具有与其相关联的真空环境；第一双负载锁定组件和第二双负载锁定组件，其中所述第一双负载锁定组件和所述第二双负载锁定组件中的每一个都分别包括第一室和第二室，其中所述第一室和所述第二室中的每一个的相应的内部空间基本上彼此隔离并共享在所述第一室与所述第二室之间的共用壁，并且其中所述第一室和所述第二室中的每一个都具有相应的真空门和大气门，其中每一个相应的真空门被构造为在相应的所述第一室或所述第二室与所述真空环境之间提供选择性的流体连通，并且其中每一个相应的大气门被构造成在相应的所述第一室或所述第二室与大气环境之间提供选择性的流体连通，所述大气环境具有与该大气环境相关联的大气压力，并且每一个所述第一室都具有与所述第一室相关联的预热设备，其中所述预热设备被构造成加热设置在相应的所述第一室内的工件，并且其中每一个所述第二室均具有与所述第二室相关联的后冷却设备，其中所述后冷却设备被构造为冷却设置在相应的所述第二室内的工件；和控制器，所述控制器被构造为启动每一个相应的预热设备以在所述大气压力下将热能传送到相应工件，从而将相应工件的温度升高到第一预定温度，并且其中所述控制器被进一步构造为启动每一个相应的后冷却设备以将相应工件冷却到第二预定温度。