[发明专利]压电超声换能器及工艺有效
| 申请号： | 201580035279.X | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106660074B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 乔恩·布拉德利·拉斯特;拉温德拉·瓦曼·谢诺伊;艾弗杰尼·佩托维奇·高瑟夫;赫瑞什科士·班差瓦加;戴维·威廉·伯恩斯;郭乃贵;乔纳森·查尔斯·格里菲思;苏耶普拉卡什·甘蒂 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G06F3/043 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 压电微机械超声换能器PMUT包含被安置在衬底上的多层堆叠。所述多层堆叠可包含被安置在所述衬底上面的锚定结构、被安置在所述锚定结构上面的压电层堆叠和被安置成接近所述压电层堆叠的机械层。所述压电层堆叠可被安置在空腔上面。所述机械层可密封所述空腔，并且连同所述压电层堆叠受所述锚定结构支撑并在所述空腔上面形成膜片，所述膜片被配置成在所述PMUT接收或发射超声波信号时，进行挠曲运动和振动中的一或两者。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 超声 换能器 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种压电微机械超声换能器PMUT，其包括：衬底，以及被安置在所述衬底上的多层堆叠，并且所述多层堆叠包含：被安置在所述衬底上面的锚定结构；被安置在所述锚定结构上面的压电层堆叠；以及被安置在所述压电层堆叠的与所述衬底相对的侧面上面的机械层；其中：所述压电层堆叠被安置在空腔上，所述空腔是通过穿过至少一个释放孔去除所述锚定结构内的牺牲材料而形成；以及所述机械层密封所述空腔，并且连同所述压电层堆叠受所述锚定结构支撑并在所述空腔上面形成膜片，所述膜片被配置成在所述PMUT接收或发射超声波信号时，进行挠曲运动和振动中的一或两者。
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