[发明专利]多晶硅棒制造用的硅芯线和多晶硅棒的制造装置在审
| 申请号： | 201580036608.2 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN106470942A | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 田中秀二;冈田哲郎 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 满凤,金龙河 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 芯线支架(34)(保持构件)其下端部具有形成正锥角的锥度。另一方面，关于在用于对硅芯线(100)通电的金属电极(30)与芯线支架(34)(保持构件)的连接中使用的转接器(33)(支撑构件)，插入芯线支架(34)(保持构件)的下端部的孔部的内表面具有在将该孔部的开口侧设为上方并将保持构件的下端部插入方向设为下方时锥角为正的锥度。芯线支架(34)(保持构件)的下端部插入到该转接器(33)(支撑构件)的孔部中而使硅芯线(100)固定。通过设定为这样的结构，可防止通过CVD法使多晶硅在硅芯线上析出时的、火花的产生等所导致的硅芯线的局部性熔断、结构性损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 硅芯线 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅棒制造用的硅芯线，其是成为用于通过CVD反应使多晶硅析出的籽晶的硅芯线，其中，在插入到设置于反应炉内的保持构件中的一侧的端部具有形成正锥角的圆锥部。
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