[发明专利]利用海尔贝克阵列对掩模的磁性夹持有效
| 申请号： | 201580037013.9 | 申请日： | 2015-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN106575633B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | T·瓦塞斯;王作乾;J·M·怀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种用于将掩模夹持至基板的处理系统。所述处理系统包括工艺腔室以及设置在所述工艺腔室中的磁性夹持件。所述磁性夹持件包括夹持表面、一个或多个旋转机构以及多个磁体，所述多个磁体相对于夹持表面在一个或多个海尔贝克阵列中取向。每一个磁体都具有在四个方向中的一个方向上取向的北极。所述一个或多个旋转机构经耦接以改变所述磁体中的至少一个磁体的所述北极的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 海尔 贝克 阵列 磁性 夹持 | ||
【主权项】：
一种用于将掩模夹持至基板的处理系统，所述处理系统包括：工艺腔室；以及磁性夹持件，所述磁性夹持件设置在所述工艺腔室中，所述磁性夹持件包括：夹持表面；多个磁体，所述多个磁体相对于所述夹持表面在一个或多个海尔贝克阵列中取向，其中每一个磁体都具有在四个方向中的一个方向上取向的北极；以及一个或多个旋转机构，所述一个或多个旋转机构经耦接以改变所述磁体中的至少一个磁体的所述北极的方向。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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