[发明专利]方案ID管理服务器、方案ID管理系统以及终端装置有效

专利信息
申请号: 201580037168.2 申请日: 2015-11-06
公开(公告)号: CN106471601B 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: 坂本见恒 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;G05B19/418;G06Q50/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李洋;舒艳君
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 方案ID管理服务器(20)具备部分ID保持部(202)、方案ID保持部(203)、部分ID发送部(205)、重复判定部(206)、使用可否通知部(207)。部分ID发送部(205)在从终端装置接收到部分ID请求的情况下,从部分ID保持部(202)读出作为方案ID的一部分的部分ID并发送至终端装置。重复判定部(206)判定与由终端装置制作的方案ID相同的方案ID是否被保持于方案ID保持部(203)。使用可否通知部(207)在与由终端装置制作的方案ID相同的方案ID没有被保持于方案ID保持部(203)的情况下,向终端装置通知允许使用方案ID,并使由终端装置制作的方案ID保持于方案ID保持部(203)。
搜索关键词: 方案 id 管理 服务器 系统 以及 终端 装置
【主权项】:
1.一种方案ID管理服务器,其特征在于,具备:部分ID保持部,其保持作为方案ID的一部分的根据预先决定的命名规则制作的部分ID,所述方案ID用于识别记述了由基板处理装置进行的处理的方案;方案ID保持部,其保持由用户操作的终端装置制作的方案ID;部分ID发送部,其在从所述终端装置接收到部分ID请求的情况下,从所述部分ID保持部读出所述部分ID,将读出的部分ID发送至所述终端装置;重复判定部,其在接收到由所述终端装置制作的方案ID的情况下,判定由所述终端装置制作的方案ID是否包含从所述部分ID发送部发送的所述部分ID中的任意一个,并且判定相同的方案ID是否已经被保持于所述方案ID保持部;以及使用可否通知部,其在由所述终端装置制作的方案ID包含从所述部分ID发送部发送的所述部分ID中的任意一个且所述相同的方案ID没有被保持于所述方案ID保持部的情况下,向所述终端装置通知允许使用由所述终端装置制作的方案ID;在由所述终端装置制作的方案ID不包含从所述部分ID发送部发送的所述部分ID中的任意一个或者所述相同的方案ID已经被保持于所述方案ID保持部的情况下,向所述终端装置通知不允许使用由所述终端装置制作的方案ID;并且所述使用可否通知部使由所述终端装置制作的方案ID保持于所述方案ID保持部。
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