[发明专利]方案ID管理服务器、方案ID管理系统以及终端装置有效
申请号: | 201580037168.2 | 申请日: | 2015-11-06 |
公开(公告)号: | CN106471601B | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 坂本见恒 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;G05B19/418;G06Q50/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;舒艳君 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 方案ID管理服务器(20)具备部分ID保持部(202)、方案ID保持部(203)、部分ID发送部(205)、重复判定部(206)、使用可否通知部(207)。部分ID发送部(205)在从终端装置接收到部分ID请求的情况下,从部分ID保持部(202)读出作为方案ID的一部分的部分ID并发送至终端装置。重复判定部(206)判定与由终端装置制作的方案ID相同的方案ID是否被保持于方案ID保持部(203)。使用可否通知部(207)在与由终端装置制作的方案ID相同的方案ID没有被保持于方案ID保持部(203)的情况下,向终端装置通知允许使用方案ID,并使由终端装置制作的方案ID保持于方案ID保持部(203)。 | ||
搜索关键词: | 方案 id 管理 服务器 系统 以及 终端 装置 | ||
【主权项】:
1.一种方案ID管理服务器,其特征在于,具备:部分ID保持部,其保持作为方案ID的一部分的根据预先决定的命名规则制作的部分ID,所述方案ID用于识别记述了由基板处理装置进行的处理的方案;方案ID保持部,其保持由用户操作的终端装置制作的方案ID;部分ID发送部,其在从所述终端装置接收到部分ID请求的情况下,从所述部分ID保持部读出所述部分ID,将读出的部分ID发送至所述终端装置;重复判定部,其在接收到由所述终端装置制作的方案ID的情况下,判定由所述终端装置制作的方案ID是否包含从所述部分ID发送部发送的所述部分ID中的任意一个,并且判定相同的方案ID是否已经被保持于所述方案ID保持部;以及使用可否通知部,其在由所述终端装置制作的方案ID包含从所述部分ID发送部发送的所述部分ID中的任意一个且所述相同的方案ID没有被保持于所述方案ID保持部的情况下,向所述终端装置通知允许使用由所述终端装置制作的方案ID;在由所述终端装置制作的方案ID不包含从所述部分ID发送部发送的所述部分ID中的任意一个或者所述相同的方案ID已经被保持于所述方案ID保持部的情况下,向所述终端装置通知不允许使用由所述终端装置制作的方案ID;并且所述使用可否通知部使由所述终端装置制作的方案ID保持于所述方案ID保持部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造