[发明专利]具有执行器结构和与其间隔开的隔膜的MEMS扬声器有效
| 申请号： | 201580037404.0 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106688245B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 安德里亚·韦斯高尼·克莱里西·贝尔特拉米;费鲁乔·博托尼 | 申请（专利权）人： | 悠声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00 |
| 代理公司： | 北京启坤知识产权代理有限公司 11655 | 代理人： | 赵晶 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于生成可听波长谱中的声波的MEMS扬声器(1)，其具有：载体衬底(2)，其具有拥有两个衬底开口(7，8)的衬底空腔(6)，所述衬底开口(7，8)被构造在载体衬底(2)的两个相对的侧；执行器结构、尤其是压电执行器结构(3)，其布置在两个衬底开口(7，8)之一的区域中并且在其边缘区域中与载体衬底(2)连接；以及紧固在其边缘区域中的隔膜(4)，所述隔膜(4)能够借助于执行器结构(3)为了生成声波而被置于振动中。根据本发明，在MEMS扬声器(1)的横截面图中，隔膜(4)与执执行器结构(3)间隔开，使得在这二者之间形成中间空腔(13)。此外，MEMS扬声器(1)具有布置在中间空腔(13)中的耦合元件(5)，所述耦合元件(5)将执行器结构(3)与隔膜(4)连接并且能够利用这二者相对于载体衬底(2)振动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 执行 结构 其间 隔开 隔膜 mems 扬声器 | ||
【主权项】：
一种用于生成可听波长谱中的声波的MEMS扬声器(1)，其具有：载体衬底(2)，其具有拥有两个衬底开口(7，8)的衬底空腔(6)，所述衬底开口(7，8)被构造在载体衬底(2)的两个相对的侧；执行器结构、尤其是压电执行器结构(3)，其布置在两个衬底开口(7，8)之一的区域中并且在其边缘区域中与载体衬底(2)连接；以及紧固在其边缘区域中的隔膜(4)，所述隔膜(4)能够借助于执行器结构(3)为了生成声波而被置于振动中；其特征在于，在MEMS扬声器(1)的横截面图中，隔膜(4)与执执行器结构(3)间隔开，使得在这二者之间形成中间空腔(13)；以及MEMS扬声器(1)具有布置在中间空腔(13)中的耦合元件(5)，所述耦合元件(5)将执行器结构(3)与隔膜(4)连接并且能够利用这二者相对于载体衬底(2)振动。
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