[发明专利]具有限位器机构的MEMS声换能器以及声换能器装置有效
| 申请号： | 201580037834.2 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106537938B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 安德里亚·韦斯高尼·克莱里西·贝尔特拉米;费鲁乔·博托尼 | 申请（专利权）人： | 悠声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00 |
| 代理公司： | 北京启坤知识产权代理有限公司 11655 | 代理人： | 赵晶 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器(2)，具有：隔膜载体(40)；隔膜(30)，其在其边缘区域(37)中与隔膜载体连接，并且能够相对于隔膜载体沿着z轴(50)振动；以及限位器机构(60)，其被构造为在至少一个方向(51)上限制隔膜的振动。根据本发明，MEMS声换能器的特征在于，限位器机构包括：至少一个增强元件(31)，所述增强元件(31)布置在隔膜的一侧；以及与增强元件相对的止挡(61)，所述止挡(61)在隔膜的中性位置与隔膜间隔开并且在最大偏转的情况下碰上所述止挡。本发明还涉及一种具有这样的MEMS声换能器(2)的声换能器装置(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 限位器 机构 mems 声换能器 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器(2)，具有：‑隔膜载体(40)；‑隔膜(30)，其在其边缘区域(37)中与隔膜载体连接，并且能够相对于隔膜载体沿着z轴(50)振动；以及‑限位器机构(60)，其被构造为在至少一个方向(51)上限制隔膜的振动；其特征在于，限位器机构包括：至少一个增强元件(31)，所述增强元件(31)布置在隔膜的一侧；以及与增强元件相对的止挡(61)，所述止挡(61)在隔膜的中性位置与隔膜间隔开并且在最大偏转的情况下碰上所述止挡。
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