[发明专利]对流体的流量进行控制的方法、质量流量控制装置及系统

摘要

重复执行如下的控制动作：基于管理响应时间的目标值与测量值的差异来对从流量的设定值变为非0(零)的值起到开始向流量控制阀输出打开信号为止的待机时间进行修正。由此，能够不依赖于流体的种类、设定流量、温度、压力以及设备的个体差异等地将从流量的设定值发生变化起到流量达到设定值为止的响应时间设为期望的值。可以对管理响应时间的目标值与测量值之差乘以权重系数，也可以与预先决定的流量的多个范围分别对应地执行上述控制动作。

主权项

一种使用质量流量控制装置来对流体的流量进行控制的方法，该质量流量控制装置具备：流量计，其测量流体的流量的测量值；流量控制阀，其使所述流量增加和减少；以及控制部，其基于所述测量值来控制所述流量控制阀以调节所述流量，其中，所述控制部具备存储单元，该存储单元存储所述流量的设定值、与所述流量的所述设定值对应的所述流量的管理值、待机时间W以及管理响应时间的目标值Tt，其中，该待机时间W是从所述流量的所述设定值从零变为非零的值时起到向所述流量控制阀输出打开信号为止的期间，该管理响应时间是从所述流量的所述设定值从零变为非零的值时起到所述流量的所述测量值达到所述流量的所述管理值为止的期间，所述对流体的流量进行控制的方法包括以下步骤：第一步骤，在所述流量的所述设定值从零变为非零的值时，所述控制部开始经过时间的测量；第二步骤，在所述经过时间达到了所述待机时间W时，所述控制部向所述流量控制阀输出与所述流量的所述设定值相应的所述打开信号；第三步骤，所述控制部测量所述流量的所述测量值达到所述流量的所述管理值时的所述经过时间的值来作为所述管理响应时间的测量值Tm；第四步骤，所述控制部计算从所述目标值Tt减去所述测量值Tm所得到的值来作为所述待机时间W的差ΔW；第五步骤，在所述流量的所述设定值从非零的值变为零时，所述控制部向所述流量控制阀输出关闭信号，并且停止所述经过时间的测量，将所述经过时间的值复位为零；以及第六步骤，所述控制部将所述待机时间W的值更新为对所述待机时间W加上所述差ΔW所得到的值。