[发明专利]具有四周封闭的腔挤压型材的真空设备在审
| 申请号： | 201580038540.1 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106537551A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫-赫伯特·迪纳 | 申请（专利权）人： | 克里斯托夫-赫伯特·迪纳 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/32;H01L21/67;A61L2/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 俄旨淳 |
| 地址： | 德国纳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空设备(10)，特别是等离子设备形式的真空设备。所述真空设备(10)具有真空腔(12)。真空腔(12)构造成连续封闭的腔挤压型材的形式。腔挤压型材的第一端侧优选用板件封闭。腔挤压型材的与第一端侧相对置的第二端侧具有能可逆地打开和关闭的门(16)。所述门(16)优选通过至少一个铰链(18、20)能摆动地固定在腔挤压型材上。横向于腔挤压型材的纵轴线完全封闭的侧壁使得能够简单且经济地制造真空腔(12)。优选真空腔(12)至少部分地容纳在壳体(14)中，所述壳体至少部分地同样构造成挤压型材的形式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 四周 封闭 挤压 真空设备 | ||
【主权项】：
1.真空设备(10)，具有真空腔(12)，其中真空腔(12)的平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的外侧一体地由腔挤压型材(22、70)构成，其特征在于，所述腔挤压型材(22、70)横向于真空腔纵向中轴线(28)构造成完全封闭的并且具有端侧的、能可逆地打开和关闭的门，其中，所述真空腔(12)在一个端侧上具有能可摆动地打开和关闭的门(16)，其中，所述腔挤压型材(22、70)在其外侧上具有平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的铰链突起(42、44)，在所述铰链突起上设置用于在门(16)与腔挤压型材(22、70)之间实现能摆动的连接的铰链(18、20)。
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