[发明专利]具有节距均匀性的平铺的CMUT切片有效
| 申请号： | 201580038683.2 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106660072B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | W·苏多尔;P·迪克森;V·A·亨内肯;R·德克尔;M·C·卢韦斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;G01N29/24;G01N29/26 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 大孔径CMUT换能器阵列由多个相邻地设置的CMUT单元平铺件形成。平铺件的相邻边缘通过各向异性蚀刻工艺、优选是深反应离子蚀刻工艺而形成，其能够切穿切片及其衬底，且保持垂直边缘靠近在所述平铺件的边缘处的CMUT单元。这使得在多个CMUT单元平铺件上连续的行或列的CMUT单元能够呈现恒定的节距。所述平铺件还包含沿边缘的互连电极，所述互连电极用于形成所述平铺件与柔性电路的电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 有节 均匀 平铺 cmut 切片 | ||
【主权项】：
1.一种CMUT换能器阵列，包括：多个CMUT平铺件，所述平铺件并排对齐以形成CMUT阵列，其中平铺件包括：衬底；多个CMUT单元，所述CMUT单元设置于所述衬底上并以一行或多行、一列或多列、或两者的方式布置；在所述平铺件的一侧通过蚀刻工艺形成的边缘，所述蚀刻工艺在横向接近与所述边缘相邻的一个或多个CMUT单元处蚀刻穿过所述衬底，使得所述一个或多个CMUT单元被定位成与毗邻平铺件的一个或多个CMUT单元保持恒定的节距；以及其中所述蚀刻工艺通过在所蚀刻的沟槽的两侧衬置聚合物而被进一步调整。
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