[发明专利]阴极构件及使用其的等离子体装置有效
| 申请号： | 201580038736.0 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106536785B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 加藤健治;高桥正人 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够持续进行稳定的无火花放电的阴极构件及使用其的等离子体装置。等离子体装置(100)包括真空容器(1)、用于保持基材(21)的保持构件(2)、以及安装于真空容器(1)上的电弧式蒸发源(3)。电弧式蒸发源(2)包括朝向基材(21)而配置的阴极构件(32)。阴极构件(32)包含玻璃状碳。阴极构件(32)的抗热震性大于7.9。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 构件 使用 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阴极构件，其用于真空电弧放电，并且包含不存在晶界的玻璃状碳，所述阴极构件的蒸发面的算术平均粗糙度Ra是8.6μm以下。
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