[发明专利]将防腐蚀性金属与Mo或Mo合金扩散接合而得到的背衬板、以及具备该背衬板的溅射靶-背衬板组件有效
| 申请号： | 201580038825.5 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN106536787B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 高村博;铃木了 | 申请（专利权）人： | 捷客斯金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种背衬板，其为将防腐蚀性的金属与Mo或Mo合金接合而得到的背衬板，其中，在该Mo或Mo合金制背衬板的将要冷却的一侧(冷却面侧)的表面具备具有背衬板的总厚度的1/40～1/8的厚度的、通过接合选自Cu、Al或Ti中的一种以上金属或它们的合金而得到的包含防腐蚀性金属的层。本发明还提供将该Mo或Mo合金制背衬板与包含低热膨胀材料的靶接合而得到的溅射靶‑背衬板组件。特别是，在半导体用途中，推进微细化，溅射时的粉粒的控制变得非常严格。本申请发明的课题在于，解决在包含低热膨胀材料的溅射靶的翘曲和Mo或Mo合金制背衬板的耐腐蚀性方面产生的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀性 金属 mo 合金 扩散 接合 得到 背衬板 以及 具备 溅射 组件 | ||
【主权项】：
1.一种Mo或Mo合金制背衬板，其为用于与靶接合的Mo或Mo合金制背衬板，其特征在于，在该Mo或Mo合金制背衬板的将要冷却的一侧的表面具备具有背衬板的总厚度的1/40～1/8的厚度的包含防腐蚀性金属的层，Mo或Mo合金制背衬板的与防腐蚀性金属接合的面具有高差，且Mo或Mo合金制背衬板的与防腐蚀性金属接合的面的高差部具有R1～R3的曲面。
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