[发明专利]泡沫压力传感器有效
| 申请号： | 201580038896.5 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106662492B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 阿尼鲁达·希尔;卡尔·施普伦托尔 | 申请（专利权）人： | 罗杰斯公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/12 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 康建峰;杨华 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 压力传感器包括第一板(102)、第二板(104)和设置在第一板与第二板之间的泡沫(106)。该泡沫是具有约50μm至250μm的平均泡孔尺寸和5lbs/ft | ||
| 搜索关键词： | 泡沫 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种混合传感器，包括：/n第一板(102)；/n第二板(104)；/n设置在所述第一板与所述第二板之间的泡沫(106)；/n其中，所述第一板、所述第二板和所述泡沫相对于彼此而设置从而形成泡沫电容器(100)；其特征在于：/n导体包覆压电膜(402)设置在所述第一板或所述第二板中的一个的表面上从而形成压电传感器；/n其中，所述压电传感器的带宽由所述压电传感器的内禀RC时间常数限定、并且大于所述泡沫电容器的带宽，从而提供了具有通过所述压电传感器实现的高带宽冲击传感器和通过所述泡沫电容器实现的较低带宽压力传感器的混合传感器。/n
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