[发明专利]利用多区域循环及过滤的气体封闭系统和方法有效

专利信息
申请号: 201580039000.5 申请日: 2015-07-16
公开(公告)号: CN106489212B 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: J.莫克;A.S-K.柯;E.弗龙斯基;P.尹加;潘荣光 申请(专利权)人: 科迪华公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张雨;安文森
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 本教导涉及气体封闭系统的各种实施例,该气体封闭系统可具有颗粒控制系统,该颗粒控制系统可包括多区域气体循环和过滤系统、用于使打印头组件相对于基底移动的低颗粒产生的X轴线性轴承系统、服务束壳体排气系统以及打印头组件排气系统。颗粒控制系统的各种部件可包括隧道循环和过滤系统,该隧道循环和过滤系统可与桥循环和过滤系统流动连通。隧道循环和过滤系统的各种实施例可提供围绕打印系统的浮动台的气体的交叉流动循环和过滤。气体封闭系统的各种实施例可具有桥循环和过滤系统,该桥循环和过滤系统可提供围绕打印系统桥与相关设备和装置的气体循环和过滤。
搜索关键词: 利用 区域 循环 过滤 气体 封闭系统 方法
【主权项】:
1.工业打印工具,包括:打印系统,包括:用于支撑基底的基底支撑设备;安装到桥的滑架组件,其中所述滑架组件构造成相对于所述基底定位打印头组件;限定容纳气体的内部的气体封闭部,其中所述气体封闭部包括第一隧道封闭区段、桥封闭区段和第二隧道封闭区段;以及用于使所述气体在所述气体封闭部内循环的气体循环和过滤系统,所述气体循环和过滤系统包括:隧道循环和过滤系统,其构造成使所述气体围绕所述基底支撑设备跨基底行进方向在循环路径中过滤和循环;以及桥循环和过滤系统,其构造成使所述气体围绕所述滑架组件过滤和循环。
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